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发展真空技术，助力半导体行业我国是世界大的半导体消费市场，但产业链整体价值水平较低，尤其是关键材料与设备和零部件方面，存在较大国外品牌依赖。例如，薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程部件——磁悬浮分子泵，varian涡轮分子泵维修，长期被国外垄断。可以看出，涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，分子泵的部件是旋转叶片和固定叶片。面对“卡脖子”问题，varian涡轮分子泵控制器，中科科仪积*响应国家需求，varian涡轮分子泵电源，承担科技部《*大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目，多项关键技术，于2011年成功研制国内第i一台磁悬浮分子泵，打*国外产品垄断。varian涡轮分子泵
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广州潽拓光电——涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。
这种泵通常在分子流状态下工作。
分子泵的原理
分子泵是一种动量型真空获得设备，子分子流态下，varian涡轮分子泵，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到逐级压缩，后被抽除。
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