中科院上海硅酸盐研究所功能薄膜材料课题组

本研究小组是中科院上海硅酸盐研究所下属功能薄膜材料课题组，主要从事与固态薄膜（半导体膜、金属膜、超硬膜等）、纳米材料及应用相关的研究。具体如下：
（1）薄膜生长过程控制及功能集成：
使用物理气相沉积方法生长氧化物、氮化物、钙钛矿薄膜，研究薄膜外延生长控制方法、系统集成及铁电、压电原型器件等；
（2）新型氧化物薄膜的制备、物理性能及应用：
氧化物薄膜的制备、掺杂及光电性能，紫外探测器；
（3）纳米材料制备及应用研究：
氧化锌、氧化钛等纳米材料的制备、表面修饰，光催化性能，染料太阳能电池；
（4）化学镀
侧重陶瓷等难镀基底上的化学镀；离子钯及非贵金属纳米敏化剂研究；纳米复合超硬、自润滑、耐腐蚀化学镀层。
以“技”会天下友，竭诚欢迎各界朋友光临指导！