智庭科技TMM-2107 手动测量金相显微镜工具显微镜厂家直发

1.仪器主机说明
tmm-2107是我司针对半导体行业推出的一款高性能的手动测量金相显微镜，结合公司多年影像测量和扫描的生产经验，以及自主研发的三维测量扫描软件，将设备的高性能的特点发挥到**。
l选用高清品牌相机，措载soptop高端金相系统，整体成像清晰无闪烁，视场开阔。
l物镜可切换多种倍率：5x,10x,20×,50x(选配)100×(选配),**综合倍率**可达
2000倍以上。
l标配反射和透射led可程控光源或非程控卤素光源。
l利用可变孔径光阑，可进行无衍射观察测量。
l单视野范围内测量精度±1μm,重复精度±0.5μm加装光谱共焦位移传感器可测高度、
深度、平面度，测量精度±1μm。
l可根据客户需求，订制各种尺寸工作台，目前*大行程可做3000*2000mm,*小行程可做
50*50mm工作台。
l有精调/微调两种模式，便于**聚焦和观察测量，快速定位焦面。
l可根据客户要求加配超长工作距离apo物镜，激光测头各种规格摄像机以及更高精度光
栅等(光尺**选配0.01μm)。
l自主研发金相测量软件，页面简洁大气，操作方便易上手，可适高精度要求的复杂工件
测量。
2.技术参数
扫描范围
xyz三轴移动范围（mm）
200*100*70
外形尺寸（mm）
520*530*740
玻璃台面尺寸（mm）
245*145
台面承重（kg）
25
仪器净重（kg）
100
光学影像及测量系统
光学系统
无限远平场消色差金相显微光学模组（3目）
金相显微物镜倍率
5x
10x
20x
视频总放大倍率
241.5x
483x
966x
双目目镜倍率
标配10x目镜（视场数φ22mm），也可选配20x目镜
物方工作距离(mm)
26.1
20.2
8.8
物方视场(mm)
1.47*0.98
0.735*0.49
0.368*0.245
照明光源
上光：led同轴落射冷光源（程控调光）
底光：led平行冷光源（程控调光）
辅光: led光源（程控调光）
摄像机
hikvision 500万像素高清彩色数字相机
示值误差（μm）
单视野
±1
xy行程范围
2.5+l/200
重复精度（μm）
单视野
±0.5
xy行程范围
2.5
xyz光栅分辨力（μm）
1
扫描测量软件
ztvision-m(拥有自主知识产权)
其他选配件
光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、自动变倍金相显微模组等
电脑
联想e95/g3930/4g/1t/集成
工作电源
ac200-240v 50/60hz450w（注：需有电阻≤4ω接地线）
工作环境
温度20±2℃,相对湿30%-80%,振动＜0.002g，低于15hz，远离振源