福州大学离子束刻蚀机顺利验收

烈日炎炎，热情满心间！后疫情时代，nano-master工程师步履不停，一站接一站为客户提供设备安装调试服务。首站福州大学，那诺-马斯特工程师已顺利安装验收nie-3500型离子束刻蚀机！
性能配置：
离子束刻蚀机用于刻蚀金属和介质，z大可支持6”晶圆。
配套美国考夫曼-罗宾逊 kdc160离子枪，650ma，100-1200v。刻蚀速率：~250a/min对au；刻蚀均匀度：对4”片，片内均匀性**±3%，重复性**±3%。
样品台可旋转，转速0-30rpm精确可控；可任意角度倾斜，支持斜齿刻蚀；带水冷功能，刻蚀后易去除光刻胶。
极限真空12小时可达6x10-7torr，15分钟可达10-6torr量级的真空；采用双真空计，长期可靠，使用稳定。
14”不锈钢立方腔体，配套一台主控计算机，20”触摸屏监控，配合labview软件，实现计算机全自动工艺控制，并可在电源中断情况下安全恢复；完全的安全联锁；支持百级**净间使用。
验收培训：
安装调试视频：
那诺-马斯特中国有限公司专注于磁控溅射系统,刻蚀系统,清洗去胶系统等