纳诺离子束技术中心

离子注入是指在高真空状态下，将所需元素电离形成等离子体，并加速到适当能量后强行打入固体表面，从而改变其成分、结构和电子态，以达到改性目的。它最早出现于上世纪六十年代后期，是半导体材料的一种标准掺杂方法，也是半导体产业的关键工艺。后来在金属材料改性方面取得突破。在提高工模具硬度，增强耐腐蚀、抗疲劳等性能,以及开发新材料等方面取得了丰硕的成果。与真空镀膜(如:CVD,PVD)等其它表面工程技术相比较，它的工艺温度最低(只有40~50℃),不存在突变界面，不会脱落。可生成任意预想的新物质成分(或结构)。纳诺离子束是原东北大学离子束技术研究室主任—廖道达教授创立。廖道达教授自1970年始从事离子束相关工作,有三十多年科研经验。1985年,主持制造了DWY-84A型离子注入与离子束混合两用机,并于同年6月在沈阳通过部级鉴定。是国内第一台既可作单独的离子注入，又能作真空镀膜－—离子束混合的两用机。退休后，在广东研制了规模更大、工艺更全的多功能离子束机——φ1*3m的真空靶室,允许面积1.5*0.8m,重0.5T的工件改性要求。可作离子注入、离子束混合、离子束辅助镀膜和等离子渗透等离子注入与各种纳米涂层相结合的工艺。可提高工模具表面硬度，自润滑性和耐磨性；提高材料的耐蚀性和抗氧化性。一般工模具经离子束改性后，耐用度提高3倍以上。我们研发的比类金刚石膜(DLC)更优异的“Nano-1型β-C3N4纳米晶硬质合金”已获“广东省2003年度重点新产品”殊荣。改性范围:五金冲压模；冲头；刀模；冷墩模；拉丝模；拉伸模；模内镶件；镶针等。