博为光电|精度高-真空箱氦检漏系统价格-合肥真空箱氦检漏系统

双工位氦检漏系统构成
（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。
（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5pa左右。
（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件*量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。
（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程，有传感器感测压力差，并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。
（5）工件抽空单元：为保证氦气有循环过程中氦气的纯度，合肥真空箱氦检漏系统，在向工件充注氦气之前，抽出工件内的空气。
氦质谱检漏方法分析
氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。氦质谱检漏法有优点在于：①氦是惰性气体，对大气*，使用安全；②氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。③氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。④氦质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广；
目前国内生产氦质谱检漏仪小可检漏率可达到5.0×10-12 pa·m3/s，如北京中科科仪生产的542检漏仪。国外检漏仪小可检漏率高可达到5.0×10-13pa·m3/s，如德国inficon，真空氦检漏系统，法国阿尔卡特等。
目前，国内外比较流行的针对空调两器检漏方法，多采用真空箱法。后续将着重介绍真空箱法检漏在空调两器检测方面的应用。
背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，真空箱氦检漏系统价格，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，真空箱氦检漏系统哪家好，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏
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