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在高等级的无尘室中从天花板到地面，完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时，空气的流向也必须要有控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍物的话，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间*流在无尘室内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。
为了防止由静电吸附而引起的微粒附着，通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并藉由除电装置进行除电。
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一、洁净室内的污染源：
洁净室内的污染源主要来自四个方面：
1、大气中含尘、含菌、净化系统中新风带入的尘粒和微生物；
2、作业人员发尘；
3、建筑围护结构、设施的产尘。
二、净化参数（一般要求）
换气次数：100000万级≥15次；10000级≥25次；1000级≥50次。
平均风速：10级、100级（断面风速）0.3-0.5 m/s；
温度：冬季＞16 ℃ 夏季＜26℃；波动±2℃。
相对湿度宜45-65%；
噪声≤65db(a)；
照度≥200lx
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1. 人员进入无尘车间必须按个人卫生与工作服装管理要求，穿戴本区域的工作服装，按净化工程程序进入无尘车间。洁净区内操作人员应控制到低限度，限制非操作人员进入。
2. 凡无尘区使用的物料、器具、工艺用水等必须按规定程序净化。进入无菌室的物品，要在室外处理，灭菌后经过传递窗或气闸室送入无尘区内。
3. 无尘度百级、万级区域的空调宜连续运行。非连续运行的无尘车间，可根据工艺要求，在非制剂时间，空调系统作值班运行，使室内保持正压。
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