真空镀膜机配件

真空镀膜机是一种用于在物体表面形成薄膜的设备,它通常由多个配件和耗材组成。以下是一些常见的真空镀膜机配件和耗材:
镀膜材料:包括金属蒸发材料(如铝、铜、银、金等)和非金属蒸发材料(如氧化物、氮化物等)。这些材料用于在真空环境中蒸发并沉积在物体表面形成薄膜。
镀膜舟:用于装载镀膜材料的容器,通常由耐高温材料制成,如石墨、石英等。
镀膜源:用于加热和蒸发镀膜材料的设备,如电子束蒸发源、电阻加热源、磁控溅射源等。
镀膜控制系统:用于控制镀膜过程的设备,包括真空度控制、温度控制、蒸发速率控制等。
泵系统:用于创建和维持真空环境的设备,包括机械泵、分子泵、扩散泵等。
镀膜掩膜:用于遮挡部分物体表面,使其不被镀膜的设备,如掩膜纸、掩膜胶带等。
镀膜监测设备:用于监测镀膜过程中的参数和性能的设备,如膜厚计、光谱仪等。
清洁和维护工具:用于清洁和维护真空镀膜机的工具,如真空泵油、清洁剂、密封件等。
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