NE-PE10纳恩科技100L真空等离子清洗活化机

ne-pe­10是一款小型真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
设备原理示意图：如上
ne-pe10 系统功能特点：
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计，双层处理空间
•8k镜面不锈钢腔体，卓越密封性
•数字高频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果
•plc+触摸屏控制，过程参数实时监控
•方便定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的浮子针阀流量控制器
•性能卓越的双极旋片泵，高抽速，寿命长，耐腐蚀
序号
项目
型号规格
参数
1
等离子体发生器
功率
0-300w可调
抗辐射干扰高频匹配器
自动阻抗匹配
频率
40khz
2
真空反应腔室
腔体材质
进口 316 不锈钢，军工级密封
腔体容积
10l
腔体尺寸
200(l)*200(w)*270(d)mm
电极数量
2个镀金铝合金专用电极+ 2个铝合金托盘
托盘尺寸
w*d :180（w）×220（d）mm
处理层数
2层
绝缘陶瓷
进口高频陶瓷
3
气路控制
气体流量控制器
浮子针阀流量控制器， 0-500ml
气路数量
最小2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳等
4
真空测量
真空计
smc 真空计
5
抽气系统
真空泵
飞越 16m3/h
极限真空度
0.1pa
真空管路
不锈钢管路+气动阀门
6
控制系统
触摸屏
4.3寸
plc
松下plc模块
软件程序
自主专利设计等离子控制系统
7
场务条件
电源供应
220v
气管接口
直径8mm
气体纯度
99.99%
气体压力
0.3-0.6mpa
排气口
kf25
8
整机参数
整机功率
1000w
外形尺寸
460（l）*460（w）*650（h）mm
(不含三色灯高度)
重量
60kg