真空镀膜机-至成真空科技-镀膜机

溅镀机设备与工艺（磁控溅镀）
溅镀机由真空室，排气系统，溅射源和控制系统组成。溅射源又分为电源和溅射枪（sputtergun）磁控溅射枪分为平面型和圆柱型，其中平面型分为矩型和圆型，靶材料利用率30-40%，圆柱型靶材料利用率gt;50%溅射电源分为：直流（dc）、射频（rf）、脉冲（pulse），直流：800-1000v（max）导体用，须可灾弧。
射频：13.56mhz，非导体用。脉冲：泛用，新发展出溅镀时须控制参数有溅射电流，电压或功率，以及溅镀压力（5×10-1—1.0pa），若各参数皆稳定，膜厚可以镀膜时间估计出来。
靶材的选择与处理十分重要，纯度要佳，质地均匀，没有气泡、缺陷，表面应平整光洁。对于直接冷却靶，须注意其在溅射后靶材变薄，有可能*损特别是非金属靶。一般靶材薄处不可小于原靶厚之一半或5mm。
磁控溅镀操作方式和一般蒸镀相似，先将真空抽至1×10-2pa，再通入ar气（ar）离子轰击靶材，在5×10-1—1.0pa的压力下进行溅镀其间须注意电流、电压及压力。开始时溅镀若有打火，可缓慢调升电压，待稳定放电后再关shutter.在这个过程中，离子化的惰性气体（ar）清洗和暴露该塑胶基材表面上数个毛细微空，并通过该电子与自塑胶基材表面被清洁而产生一自由基，并维持真空状态下施以溅镀形成表面缔结构，使表面缔结构与自由基产生填补和高附着性的化学性和物理性的结合状态，以在表面外稳固地形成薄膜.其中，薄膜是先通过把表面造物大致地填满该塑胶毛细微孔后并作链接而形成．
真空镀膜机对环境的要求
真空镀膜机在使用的时候，难免会因为使用的问题使得真空镀膜机沾上其他污染物，所以经常清洗真空镀膜机也成为*机器的一个重要部分，在真空镀膜机使用镀膜材料镀膜之前，对镀膜材料做简单的表面清洁能延长镀膜机使用寿命，因为各种污染物不仅使真空系统不能获得所要求的真空度，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。
一般在使用中，真空镀膜机常见的污染物有：
1、油脂包括加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等；
2、操作时候的手汗，吹气的时候的水汽和唾液等等；酸、碱、盐类物质清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等；还有抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物。
清洁这些污染物可以改进真空镀膜机工作稳定性，使工作可以更顺利的进行。
真空镀膜机原理和各部件分析
机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。
1、机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此主要应用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此目前应用广泛，本文主要介绍)四种类型。
2、机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有*限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1、0*10-1pa的*限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6、7*10-2帕，甚至更高
3、机械泵常常被用来抽除干燥的空气，但不能抽除含氧量过高和腐蚀性的气体，机械泵一般被用来抽除气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是弹片、定子、转子等，转子在定子里面但与定子不同心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中间装有弹簧，保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。