单通道热式气体质量流量控制显示仪
单通道热式气体质量流量控制显示仪:在一般情况下,质量流量控制器和质量流量计的单位都是以sccm(毫升/分钟)和slm(升/分钟)表示;s代表stand,指标准状况下;cc指毫升;l指升,m代表minute,指分钟。其实这就意味着,流量控制器在不同的使用条件下,指示的流量全都是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (273.15k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm、slm不同于ml/min、l/min 的地方。