真空腔体厂家-沈阳鹏程(在线咨询)-真空腔体

真空腔体烘烤注意事项
真空腔体烘烤时的真空度变化结果，真空腔体公司，烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3 pa时，开始给加热带逐渐通电加热，保持腔体在150℃下进行长时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵，同时也给离子泵通电进行加热烘烤，这时的真空腔体只靠分子泵和前级泵来排气。随着腔体温度的升高，腔体内表面吸附的水蒸气等气体分子大量放出，真空度会迅速恶化。气体的放出量随着烘烤时间的延长而逐渐减少，因此真空度也逐步好转。停止烘烤时，真空腔体厂家，切断加热带和离子泵的烘烤电源，然后趁腔体仍处在高温的状态下对钛升华泵进行除气处理。钛升华泵的除气处理是指给ti丝通电加热，但又控制温度在ti升华温度之下的操作。钛升华泵除气处理的目的是清除吸附在ti丝表面的气体分子以及其他可能的污染物，以确保钛升华泵的正常工作。充分完成钛升华泵的除气处理之后，启动离子泵和钛升华泵，加大真空排气的力度。随着排气力度的*和由于腔体温度降低而放出气体的减少，系统的真空度会迅速好转。
新完成的腔体一次烘烤时，一般需要一周时间，重复烘烤后单独的烘烤时间可以适当减少。为了地测量真空度，停止烘烤后也应该对真空计进行除气处理。如果真空泵能力充分而且烘烤时间充足的话，烘烤后真空度可提升几个数量级。
真空腔体介绍
真空腔体真空是指低于大气压力的气体的给定空间，真空是相对于大气压来说的，并非空间没有物质存在.
真空是物理学里面的一个概念，开始反映的是空无一物的状态.即真空并不是无物而是有实物粒子和虚粒子转化的，但整体对外是不显示物理属性的宏观总体.真空就像是一个能量海，不断振荡并且充满着巨大能量.
真空的属性确实是需要用空间来描述，真空腔体，但只是种数学表示，是为了方便研究才引入的参量，并不是说真空的性质取决于空间.
真空腔体是建立在低于大气压力的环境下，以及在此环境中进行工艺制作、科学试验和物理测量等所需要的技术.
用现代抽气方法获得的很低压力，每立方厘米的空间里仍然会有数百个分子存在.
气体稀薄程度是对真空的一种客观量度，直接的物理量度是单位体积中的气体分子数.气体分子密度越小，气体压力越低，真空就越高.真空常用帕斯卡或托尔做为压力的单位.
真空腔体中抽气管道的设计原则
工艺室的抽气速率将低于泵入口的抽气速率，相差多少取决于抽气管道的属性(例如长度和尺寸)。尽量降低工艺室和泵入口之间的压力差就可以使抽气速率损失减到少。
显然，抽气管道的属性对于性能十分关键。此时还需要考虑其它因素：流导。
我们采用流导(阻力的倒数)这一术语来定义“管道传递流动的能力”。流导的计量单位是每单位时间的体积并且和抽气速率的单位相同。工艺室抽气速率(s)可用抽气管道流导(c)和应用泵速(sp)计算，如下所示：
s = (sp*c)/(sp c)
当c远远大于sp时，则s近似为sp；当sp远远大于c时，真空腔体哪家好，则s近似为c。真空腔体
工艺室的抽气速率始终低于应用泵速而且低于抽气管道中部件的小流导(通常为小直径)。
在某种程度上管道短而粗是好的
采用短的大直径抽气管道尽量提高管道流导是不错的做法，但只限于当抽气速度s接近泵速(sp)*值的情况。
除此之外，通过增加管道直径(成本也会相应增加)来增加流导并不能显著提高工艺室抽气速率；换而言之，如果抽气管道流导受限并且由于物理因素不能增加，当(s)接近管道流导(c)*值，一味通过增加应用泵速来提高工艺抽气速度也是不经济的。
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