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多晶硅回收的流程步骤
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简述硅片回收产生线痕的原因
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硅片回收密布线痕:(1)硅片整面都密布着线痕;(2)硅片的出口端的一半都分布着线痕;(3)部分不规则的区域密布着线痕。
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多晶硅料还原过程氢、氢氯、三lu甲硅料烷和四氯hua硅料四,不回收,将导致资源的浪费和环境污染。绝大多数的多晶硅料生产企业使用闭环法多晶硅料的生产改善,基本上可以满足环境保护的要求,但大型投资面临的问题。
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