266nm脉冲激光器
266nm紫外脉冲激光器
ll266-q全固态266 nm的紫外激光器广泛用于紫外光固化,微电子,光盘雕刻,激光医疗,科学实验等
波长wavelength (nm)
266±1
输出功率 output power (mw)
1-200
线宽spectral linewidth (nm)
100:1
光束质量beam quality (m2 factor)
<20
光束发散角beam divergence (full angle, mrad)
~2.0
光束直径beam diameter at aperture (mm)
2.0
光束指向稳定性 beam pointing stability(mrad)
<0.05
功率稳定性power stability (rms, over 8 hours)
<5%,<10%
振幅稳定性noise of amplitude (p-p)/噪声值
<3%
出光孔高度 aperture position (mm)
25/45
激光头
laser head
尺寸 dimensions (l×w×h, mm)
209 x 88x 74/204 x 78 x 63
重量 net weight (kg)
1.6/2.3
驱动电源
power driver
尺寸 dimensions (l×w×h, mm)
209 x 88 x 74
重量 net weight (kg)
2.3
电源型号integrated driver model
f-266
制冷方式cooling system
tec
预热时间warm-up time (minutes)
10000
保修期warranty time
1 year