真空箱氦检漏系统哪家好-博为光电-深圳真空箱氦检漏系统
真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键,真空系统的结构合理与否,将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。
1、尽可能地避免出现小曲率半径的死角,要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。
2、抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道,采用圆弧过渡,使气路畅通无阻,深圳真空箱氦检漏系统,但要考虑清洗清扫的方便性。
3、认真设计真空室内各种连接件的结构,使气路畅通,避免气路堵塞。
4、打磨抛光真空系统内表面,表面越光亮就越不易气体吸附,越容易获得真空。
5、尽可能减小真空室的体积,缩短管路系统。
密封形式的选择
密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式。
密封部位进行水冷后,其温度在80℃左右,个别处温度可达100℃以上)。所以,要选择比较理想的密封圈材料。
用于真空密封橡胶材料,除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外,真空箱氦检漏系统维修,还要求有低的渗透率和出气率,良好的耐热性耐油性,同时要有一定的强度、硬度和弹性等。
背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时,首先将被检产品置于高压的氦气室中,真空箱氦检漏系统哪家好,浸泡数小时或数天,如果被检产品表面有漏孔,氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中,使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品,将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内,被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率,需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测,可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏,否则由于密封腔体容积太大,导致加压时间太长。此外,真空箱氦检漏系统价格,每个测量漏率都对应两个等效标准漏率,在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检,排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏
真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏
外漏和内漏
我们平时所讲的泄漏一般是指外漏,即从真空腔体或管道的外部向内部泄漏;而内漏是指两个本应隔离的真空腔室之间,通过阀门隔离的两段真空管道之间,或真空腔室与管道之间,发生了泄漏。
罗茨泵上方的阀门在高真空时应该是关闭的,如果该阀门关闭不严,高真空时气体就会从阀门的下面向右侧泄漏,这种泄漏就是内漏。和外漏类似,内漏也会造成高真空抽气时间延长、*限真空变差等问题。
外漏可以方便地通过检漏仪直接找到,而内漏却只能通过分段保压等方式做预判断,然后拆掉的阀门一侧的管道,然后再进行检漏(或者在阀门的一侧连接检漏仪,向另一侧的管道内充入氦气进行检漏)。
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