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配管的准备工作
(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。
(2)管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。
(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在ccl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。
(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门，应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂，并使溶剂流经阀门各处，阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。
(5)采用普通不锈钢管时，其表面若粘附有油污，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作，必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。
(6)氧气管路的阀门、附件等，应当严格禁油，并在安装前按有关要求严格脱脂。
3.金属管道的连接
(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:
1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。
2)铜管。在半导体企业中，个别生产工艺如gaas的操作，气体管道安装怎么样，为了防止产生器件电阻，昆山气体管道安装，不允许使用铜制管路及其附件，气体管道安装性能，只能使用不锈钢材料。
高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316l ep管，经电解拋光(electro-polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的ap管(annealing amp; picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。
实验室气体的危险性：
1、有部分气体具有易i燃、易i爆、*、强腐蚀等特性，其一旦泄漏，就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害；
2、多种气体在同一个环境下使用，如果有两种会发生燃烧或爆i炸等强烈化学反应的气体同时泄漏，就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害；
4、多数气瓶出口压力可达15mpa，即150公斤/cm2，如果发生气瓶口减压装置失灵，就有可能将一些部件激i射出去，其能量对*或设备都具有致命性的伤害。
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