NE-PE80F纳恩科技80L真空等离子清洗活化机

设备主要技术参数 1) 外形尺寸（约）:l1200×w1100×h1850（mm） 外观喷塑处理
2) 反应仓尺寸：不锈钢 w450mm×h400mm×d470mm
3)电源：主系统电源:380×(1±10%)v(ac) 50hz～60hz 三相五线
4）等离子体频率：13.56mhz
5）射频电源功率：（0～600）w可调
6）设备功率：≤4kw
7)控制方式：采用包括触摸屏人机界面的 plc控制，操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理， 可同时存储 100组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理，设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数，提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。
8)mfc质量流量控制
气体流量：(0～200)ml/min（标况下）
9)工作气体(氧、氩等)接口压力：≤0.45mpa
10）压缩空气（启动气动角阀）接口压力：0.5mpa
11）净化冷却气体（氮气）接口压力：0.45mpa
12）设备工作节拍：单次清洗时间≤8min（清洗时间 6min，具体以实际清洗时间为准）
13）工作真空度：30～150pa
14）反应仓工作温度：30~60℃
15)极板数量：水平电极板≥8 层，极板间任意组合