镀膜真空系统-真空系统设计-龙门真空系统

真空系统设计安装须知
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系统首要组成部组件有：真空泵、压力传感器、真空电离规、阀门、管路、气瓶和控制器。试验腔的真空环境经过涡轮分子泵完成，涡轮分子泵是靠高转速的转子带着气体分子取得超高真空的一种机械真空泵。工作压力范围在1~10-8 pa。*的泵可以取得10-9 pa的*限压力，注液真空系统，分子泵首要用作超高真空泵和高真空泵，但涡轮分子泵不能直接对大气排气，需要装备前级泵，而且其首要功能(*限压力和抽速)都和装备的前级泵的容量、转速，被抽气体的种类有关。为了节省空间资源和下降能耗，体系中可充分利用空间的真空环境，省去分子泵的前级泵。
单级旋片真空泵系统是理想的高真空获得设备，用于抽除普通空气或惰性气体和少量可凝性蒸汽。真空系统是由真空泵、plc程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。
油式单级旋片真空泵工作原理：
转子在圆形的缸体内通过电机联节驱动旋转，转子轴线偏离缸体中心线，因此转子与缸体内壁形成线性接触，镀膜真空系统，叶片沿着转子的滑槽滑动，将缸体和转子之间隔成多个工作腔，当工作腔和进气口相连时，吸入气体，随着转子的旋转，被吸入的气体被压缩，进而排除到油气分离器内。恒定的压力差使真空泵润滑油进入压缩腔。润滑油和被抽气体一起进入油气分离器，通过重力作用和油气滤网及排气过滤器网的作用下使得油、气分离，润滑油回落到油箱底部，再次循环，不含油的气体通过排气口排向大气。
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