水汽捕集泵供应 镀膜机深冷装配

在使用油扩散泵或分子泵的高真空环境中(10-1~10-5pa)都存在着一定的残余气体,其中80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽。由于水的分子量比氮气、氧气、二氧化碳等气体的分子量小,分子泵和油扩散泵对其抽空能力表现较差,所以水蒸气对抽真空的速度影响很大,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷捕集泵则是解决以上问题的上佳选择。
深冷捕集泵的工作原理:深冷机组将一段冷冻盘管(铜管或不锈钢管)制冷到-120℃以下,将冷冻盘管放置在真空系统中的任何部位,由于水蒸气的水分子呈无规则运到状态,最后撞击到盘管冷冻部位后,通过其表面的低温冷凝效应,被凝结成固体状态,水蒸气变成了固态冰,水分子不再进入真空系统中运动,这就达到了一种抽真空的效果,从而大大缩短抽真空的时间(可缩短30—60%的抽气时间),获得洁净的真空环境。这种专门在真空系统中捕集水蒸气(或气体高沸点的气体)的设备被称之为“深冷水汽捕集泵”,它被广泛应用于真空镀膜、航天军工、卫生医疗等领域。

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