全自动碱腐蚀机

适用于多种规格硅片的腐蚀清洗,
同一台设备可编程多套运行软件 根据工艺需求,
槽体可匹配超声、抖动、旋转、循环过滤等功能 全自动控制,
可选择自动配补液,保证了操作的安全稳定性
高速移载机械手,伺服驱动控制,保证运行平稳,定位可靠 机械手直接夹取pfa卡塞,更好的满足客户需求
采用国际知名电气元件

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