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涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状,在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时,叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转,其周边的线速度一般200~300m/s,安捷伦分子泵维修中心,相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空,涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此,涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出*为有效。例如对于氮气,其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差,例如氢气,安捷伦分子泵公司,其压缩比仅有103 。
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新设计了*和一体式控制器,还开发了全新的智能控制软件。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度,自动调整泵的功率,并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。控制器新增加的主动刹车功能可在不*空的情况下快速停机,节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间,延长了轴承寿命。
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分子泵叶片*碎的原因:
答:造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多,归纳起来主要是以下几点:
①、误操作;比如突然的*真空,因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小,如果叶片的材质比较薄或者比较软,突然的空气阻力会造成叶片变形,这样可能会造成转子静子之间的摩擦,导致打碎。
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静环密封圈越紧越好。静环密封圈基本处于静止状态,相对较紧密封效果会好些,但过紧也是*的。一是引起静环密封因过度变形,影响密封效果;二是如果静环材质是石墨,一般较脆,过度受力*易引起碎裂;三是安装、拆卸困难,*易损坏静环。
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工作条件
(1)转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。
(2)气体处于分子流状态,安捷伦分子泵修理中心,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。
分子泵特点
油润滑分子泵:润滑油量小,肇庆安捷伦分子泵,且在前级真空段,对真空室污染小。
脂润滑分子泵:油脂量,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。
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20世纪70年代末开始,人们对真空装置提出更高的要求,既除了能获得高真空之外,还需要能够在排气之后导入各种各样的气体,并使其在真空装置中发生化学反应。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体,需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。为了满足这种日益增长的需求,涡轮分子泵逐渐推广普及。
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