武汉颐光ME-L 穆勒矩阵椭偏仪

一、产品介绍：
1、超宽的光谱范围：采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围（380-1000nm）支持拓展至200-1650nm
2、双旋转补偿器调制：高精度旋转与触发同步控制，实现高速光谱数据采集
3、全穆勒矩阵测量：基于双旋转补偿器配置，可一次获取穆勒矩阵的16个元素，相对于传统光谱椭偏仪可获取更加丰富全面的测量信息
4、超级消色差补偿设计：专利补偿器技术，适应从深紫外到近红外宽光谱范围内高精度相位调制要求
5、丰富的材料数据库和算法模型：数百种材料数据库、多种算法模型库、涵盖了目前绝大部分的光学材料
6、向导式交互界面：软件向导交互式人机界面操作，为用户提供优质操作体验
7、纳米光栅分析能力：先进分析算法模型实现各种纳米光栅结构周期、线宽、线高、侧壁角、粗糙度等几何形貌信息提取
二、技术参数：
基本功能 一次性获取穆勒矩阵、psi/delta、n/c/s、r/t等光谱
光谱范围 380-1000nm（210-1650nm可选）
测量时间 1-8s
入射角范围 45-90°
光斑尺寸 2-3mm/200um
重复性精度 0.005nm(100nmsio2硅片)
精度
（空气介质） 椭偏参数：ψ=45±0.05° δ=0±0.01°
穆勒矩阵：对角元素m=1±0.005 非对角元素m=0±0.005
分析软件 多达数百种光学材料库，支持用户自定义
多层各向同性/异性光学薄膜、周期性光栅结构建模仿真与分析功能