电子半导体行业用超纯度石墨制品-伟名石墨

在半导体工业中，超纯度石墨制品主要是作为加热系统、保温罩、电极等存在，采用高纯石墨做这些部件也是充分利用了超纯度石墨制品耐高温这一特点。高纯石墨的耐腐蚀、抗氧化、导电导热的优点应用到了半导体工业中，使工件使用寿命更长、更加减磨省电。我司采用德国半导体等级石墨材料，精密制作离子注入用石墨耗材，提供标准件及客制化规格。
超纯度石墨制品根据均匀细颗粒的特性可作为低原子序数材料，对离子、等离子具有较强的抗轰击能力，很强的抗腐蚀性，超纯度石墨制品没有金属离子不会对半导体产生污染，金属部件暴露在离子注入设备中会造成高的损耗，故这时应用相应的石墨件来作屏蔽罩。用于等离子cvd用部件 等离子vcd用感受器、电极室、喷嘴、内衬、溅射用电极、movcd感受器等。