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洁净室中的温湿度控制
相对湿度在50%时易生锈。此外,安徽gmp净化车间,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,gmp净化车间哪家好,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,gmp净化车间设计,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳湿度范围为35-45%。对于大部分洁净空间,为了防止外界污染*,gmp净化车间价格,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。
车间内需要安装气体报警设备,当车间内的*、*气体达到一定的浓度后,气体*发出报警信号,工作人员会切断管道,打开排风系统,安排工作人员疏散。净化车间需要随时做好清扫,保证车间内整洁卫生,生产所需的材料放置在储物间内,车间内的热源做好隔离措施,另外净化车间注意通风换气。车间建造完毕后,禁止客户私自增加电源,乱拉电线,如果因为生产规模扩大,需要增加电源和线路,由电工安装。
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