等离子清洗机

离子清洗机kt-s2dqx,用于表面清洗,活化,刻蚀等离子清洗机电源属于150w 13.56mhz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、pcb制程、pcb制程、元器件封装前、cog前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
该等离子清洗机kt-s2dqx,用于表面清洗,活化,刻蚀清洗机内置高纯石英仓体，容积为2升。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验 样品清洗 和教学。
供电电源
ac220v（ac110v可选)
工作电流
整机工作电流不大于3.5a(不含真空泵)
射频电源功率
150w
射频频率
13.56mhz
频率偏移量
＜0.2mhz
特性阻抗
50欧姆，手动匹配
耦合方式
电容耦合
真空度
≤100pa
腔体材质
高纯石英
腔体容积
2l(内径110mmx深度220mm)
观察窗内径
φ65