供应邦得凌陶瓷材料白色光阻剂

本品在玻璃基材与陶瓷基材上分别制作的陶瓷粉光阻材料，使用黄光制程制做的图型。支持微细电子元器件的制造。
应用用途
用于pet，玻璃，硅基传感器，片式电感器上的白色负型光阻剂，主要支持黄光制程工艺制造。
1、性能与特点
外观：白色不透明液体
粘度：依用户用途可调
胶膜特性：成膜固化之后结构致密，与玻璃/金属/pet/陶瓷等基板结合紧密
显影干净：无残留，支持5um制程
用于各类器件的白色光阻涂层。
我们通过先进的材料技术将粒子尺寸微细化到200nm
本品在玻璃基材与陶瓷基材上分别制作的陶瓷粉光阻材料，使用黄光制程制做的图型。支持微细电子元器件的制造
2、指标参数
序号
项目名称
指标
参考标准
1
od值（1um）
2.3-3.0
分光光度计
2
方阻抗值
1.3*1014-16 ω/cm2
四探针仪
3
粘度值
5~100cp
粘度仪
4
成膜均匀性
4h
三菱铅笔/750g硬度计
10
耐化学
浸泡1hr膜完好
ipa、nmp、gbl、tmah
3、工艺参数
1. 涂胶：旋涂，刮涂，印刷
2. 前烘温度：90~110℃
3. 曝光：150-300mj/cm^2
4. 显影时间： 50-70秒/ckb-amphbal2001,25-30℃
5. 后烘温度：120~200℃， 30~60min
4、包装及存储
包装： 1kg洁净hdpe桶，加不透光包装袋
贮存： 0~5℃避光保存；紧盖封口，于通风、阴凉处储存；贮运中避免日晒、雨淋、泄露；剩余产品密封存放
保质期：3个月