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真空镀膜机的工作原理在镀膜领域，镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜性能的一个重要因素。因此，当评价某薄膜样品的性能时，需要检测该薄膜样品不同厚度下的性能。对于真空镀膜的情形，这往往需要进行多次试样的制备。而这样多次制备样品存在两个问题：首先，不同次生长的样品，仪器的状态不同，以至于影响薄膜样品性能的因素可能不仅仅是厚度；其次，真空镀膜实验装取样品需要重新进行真空的获得，非常耗时。增加了生产和检测的成本。因此，提供一种多功能磁控溅射镀膜系统，本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸发镀膜与手套箱组合，实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作，使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中，消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响，保障了、大面积有机光电器件和电路的制备。多功能磁控溅射镀膜系统主要用途：用于制备各种金属膜、半导体膜、介质膜、磁控膜、光学膜、超导膜、传感膜以及各种特殊需求的功能薄膜。
真空镀膜设备的工作离不开相应的监测，那么如何监测呢？下面一起来看看吧。1.目视监控使用双眼监控，因为薄膜在成长的过程中，因为干涉现象会有色彩改变，我们即是依据色彩改变来操控膜厚度的，此种办法有必定的差错，所以不是很，需求依托经历。2.定值监控法此办法使用停镀点不在监控波长四分之一波位，然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率是多少，此即为中止镀膜点。3.水晶振动监控使用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理工作的。可是石英监控有一个欠好的地方即是当膜厚添加到必定厚度后，振动频率不全然因为石英自身的特性使厚度与频率之间有线性关系，此刻有必要使用新的石英振动片。4.*值监控法当膜厚度添加的时候其反射率和穿透率会跟着起改变，当反射率或穿透率走到*值点的时候，就能够知道镀膜之光学厚度nd是监控波长（入）的四分之一的整倍数。可是*值的办法差错对比大，因为当反射率或许透过率在*值邻近改变很慢，亦即是膜厚nd添加许多，r/t才有改变。反映对比的方位在八分之一波利益。
真空镀膜设备有哪些适用范围？ 1、建筑五金：卫浴五金（如*锁、门拉手、卫浴、门锁、五金合叶、家具等。2、制表业：可用于表壳、表带的镀膜、水晶制品。3、其它小五金：皮革五金、不锈钢餐具、眼镜框、刀具、模具等。4、大型工件：汽车轮毂、不锈钢板、招牌、雕塑等。5、不锈钢管和板（各种类型表面）6、家具、灯具、宾馆用具7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器血等五金制品镀超硬装饰膜。8、眼镜、首饰等装饰品镀超*装饰（金银）纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。