100级无尘烤箱CM-100T_晶圆PI胶固化

100级无尘烤箱cm-100t_晶圆pi胶固化
100级无尘烤箱cm-100t概述：
晶圆pi胶固化烤箱cm-100t是参照 federal standard(fs)209e 无尘等级规格研发制造，广泛应用于电子液晶显示屏、lcd、cmos、ic、实验室等生产及科研部门。采用平面水平送风，然后经过进口hepa filter装置 (特殊风道设计)送风，过滤效率可达99.99%，满足class 100级无尘规格，排气口为3"φ(附自动启闭风门功能),以达到强烈循环的效果。
100级无尘烤箱cm-100t箱体结构：
·烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热器及风道系统部分组装而成，结构合理，外型美观大方
·全周弧焊，耐高温硅胶迫紧，sus304＃不锈钢电加热器，防止机台本身产生微尘
·箱体材料：sus304#不锈钢板
·内胆材料：采用进口sus304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，
·并经碱性苏打水清洁，去油污以避免烘烤时产生微尘
·中桶材料：采用进口sus304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，
·并经碱性苏打水清洁，去油污及弧焊密封加工(防污染)
·保温材料：采用正厂玻璃纤维公司出品，100k级高密度高保温板制造
·电热器：采用进口覆套式电加热器 (sheathed heater)，为无尘化电热发生器
·洁净度：烤箱内部均采用无尘化配件及材料
cm-100t（100级无尘烤箱）规格：
无尘等级 class 100
温度范围 室温～+250℃
升温速度 常温～+200℃, 升温斜率程序可控
温度均匀度 &plu*n;1%；（空载）
温度度 &plu*n;1℃；（空载）
工作室尺寸 w600×h550×d500 mm
外形尺寸 w1100×h1700×d1220 mm
加热功率 14kw
层板 共2片
环境条件 温度 5～40℃；湿度 ≤85%r.h
电源 ac380v , 三相，50hz
气压 86～106kpa
使用条件 无强烈振动，无强磁场影响，无腐蚀性气体
箱体周围应留有500mm的空间供设备安装、维修使用
了解更多：http://www.hapoinoven/cm-100t.htm
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