特种气体系统的设计与施工

前言：一个工艺技术**的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。
一：概念
特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、**次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。
其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→vmb→用气点
二：分类
特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。
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