POLOS® SPIN5000A 全自动匀胶旋涂系统
新品!polos® spin5000a全自动匀胶旋涂系统
polos® spin5000a是一款强大的旋转涂布机系统,专为研究和各种应用的可变过程。它的特点是能够可以定制和全自动操作,钢制外壳保证了无污染的工作区域,其可靠的组件确保了可重复、可编程的旋转过程,可反复旋转高达500 x 500 mm的基板。
polos® spin5000a代表了下一代全自动场景旋涂系统!
polos® spin5000a全自动匀胶旋涂系统参数配置:
旋转速度
1200 rpm
旋转速度精度
0.1 rpm
自旋旋转方向
顺时针和逆时针
旋转加速度
≤3000 rpm/s,取决于负载**
自由可编程输出
20个步骤,20个配方(保存和加载)
基底直径范围
尺寸不大于700mm圆形或500 x 500mm方形的基板
滴胶喷嘴
3个喷嘴,自动分配(可选)
控制方式
8.5英寸触摸屏
机身尺寸(桌面版)
1700mm(宽)× 2100mm(高)× 1700mm(深)
* *在没有基底的情况下测量,根据使用的卡盘和基底规格,可能会有限制。