微电容申通道叉指电极高低温探针台

微电容申通道叉指电极高低温探针台，一体式不锈钢腔体，手动调节探针，正面留有观察窗，反面留有透光孔。高低温配置
kt-z4019mrl4t是一款便携式探针台，结构小巧，功能使用，成本较低，可以满足基本实验的要求。特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构，使得探针部分能从整个探针台系统中独立出来，可以应用于辐照实验中，该探针台也可放置高低温箱中，用于芯片的三温测试。多探针结构可实现多路测试。配合接地良好的铝制屏蔽盒，增加了抗干,扰,能力，其测试数据更加准确。
微电容申通道叉指电极高低温探针台的技术产数：
真空腔体
类型
高温型室温到350℃
高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃
腔体材质
304不锈钢 6061铝合金 可选
腔体内尺寸
127mmx57mmx20mm
腔体外尺寸
150mmx80mmx32mm
腔体重量
不锈钢材质 约1.5kg 铝合金材质 约0.5kg
腔体上视窗尺寸
φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
腔体抽气口
kf16法兰（其余接口规格可转接）
腔体真空测量口
kf16法兰（其余接口规格可转接）
腔体进气口
6mm快拧 或 6mm快插
腔体冷却方式
腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口
腔体正压
≤0.05mpa
腔体真空度
机械泵≤5pa （5分钟） 分子泵≤5e-3pa（30分钟）
样品台
样品台材质
不锈钢 银铜合金 纯银块
银铜合金 纯银块
样品台尺寸
26x26mm
样品台加热方式
电阻加热
电阻加热 液氮制冷
样品台-视窗 距离
11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）
样品台测温传感器
pt100型热电阻
样品台温度
室温到400℃
室温到400℃ 室温到-196℃
样品台测温误差
±0.5℃
样品台升温速率
高温100℃/min 低温7℃/min
温控仪
温度显示
7寸人机界面
温控类型
标准pid温控 +自整定
温度分辨率
0.1℃
温控精度
±0.5℃
温度信号输入类型
pt100 （可选k s b型热电偶）
温控输出
直流线性电源加热
直流线性电源加热+液氮流速控制器
辅助功能
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口
温控器尺寸
32cmx170cmx380cm
温控器重量
约5.6kg
探针
电信号接头
配线转接 bnc接头 bnc三同轴接头 sma 接头 香蕉插头 线长1.2米
电学性能
绝缘电阻 ≥4000mω 介质耐压 ≤200v 电流噪声 ≤10pa
探针数量
4探针（可扩展5探针）
探针材质
镀金钨针 （其他材质可选）
探针尖
10μm
手动探针移动平台
x轴移动行程
20mm ±10mm（需手动推动滑台）
x轴控制精度
≥500μm
r轴移动行程
120° ±60°（需手动旋转探针杆）
r轴控制精度
≥500μm
z轴移动行程
2mm ±1mm
z轴控制精度
≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）