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氦质谱检漏的具体方法——背压法
背压法是真空系统检漏中的基础方法之一，结合了压力检漏与真空检漏两者的特点。氦质谱检漏中，背压法的应用原理也是一样的，今天就和华尔升智控一起看下氦质谱检漏方法中的背压法。
背压氦质谱检漏法是一种适用于容积较小被检件的检漏方法，例如半导体一类真空密封器件的无损检漏。它的检漏过程与其他背压法一样包括3个步骤：充压、净化、检漏。
充压过程中，被检件在充有高压氦气的容器中存放一定时间，使氦气经漏孔进入被检件内部，并随着时间的增长，其内部的充气压力及氦分压会逐渐；进入净化阶段后，用干燥氮气等冲刷，或通过静置手段去除吸附在被检件外表面的氦气；将被检件放入真空室并将真空室抽成真空状态，利用压差作用使被检件内部的氦气流出进入检漏仪，检漏仪输出指示判定漏孔的存在及其漏率。
相信不少人可以看出背压法不适合用于有大漏孔的被检件。因为如果漏孔过大，在净化阶段，充入被检件内部的氦气会流失得很快，净化的时间越长，流失得就越严重，会导致检漏仪的输出指示降低，锂电氦检专机维修，造成漏孔漏率很小的假象，甚至检测不出漏孔。因此在使用背压氦质谱检漏法时，除了避免用于大漏孔的被检件检漏外，还要注意适当充气压力、延长在高压氦气中的浸泡时间，同时缩短净化时间，来提高检漏灵敏度。
怎么样影响氦质谱检漏仪检测精度
温度对检测的影响
对于处于密闭容器的气体而言，当温度升高时，其内部的压力也随之升高。因而温度的变化不可避免地成为影响压力变化的重要因素。一般估计这种影响的范围大致在温度每变化1℃引起的压力变化为0.36%的测量压力值。因而，随测试压力的提高，温度的影响会变得明显。
受到检测容积的影响
在一个特定的泄漏率值里，如果检测容积*的话，那么相应的压力降低的速度就越低，因而测量时间需要相应增加。在一些特定的条件下，如果不想方设法减少测量容积，那么可能会无法达到测量需要的度和灵敏度。
单级磁偏转型氦质谱检漏仪
在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速*组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由*栅、收集*及高阻组成收集器；放大静电计管和冷阴*电离规。
在离化室n内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速*s1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可计算。
可见，当b和u为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径r不同。仪器的b和r是固定的，调节加速电压u使氦离子束恰好通过出口缝隙s2，到达收集器d，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的r值不同无法通过出口缝隙s2 ，所以被分离出来。 (me-1)2=4，即he 的质荷比，除he 之外，c卅很少，可忽略。
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