进口检漏仪-博为光电(推荐商家)

经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面:
(1)便携式:现在各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,进口检漏仪,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
氦质谱检漏仪的工作原理
氦质谱检漏仪是根据质谱分析原理,以氦为示踪气体,对真空设备和密封器件的漏隙进行定位或定量、定性测量的完整系统。
我们知道气体在电子的轰击下会产生带电粒子,带电粒子在电场的作用下获得能量做加速动力,而在磁场的作用下将做圆周运动,而具有不同质荷比的离子其运动半径不同。这就使一束带电粒子在磁场的作用下按荷质比分离,这门研究使不同质量的粒子在电磁场中运动并依质荷比进行分离的学科称为质谱学。根据质谱学原理制成的仪器叫质谱仪。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种,将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。
检漏的基本任务靠采取一些标准检漏技术来完成,而采用哪种技术要根据被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。
单级磁偏转型氦质谱检漏仪
在质谱室内有:由灯丝、离化室、离子加速*组成离子源;由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器;由*栅、收集*及高阻组成收集器;放大静电计管和冷阴*电离规。
在离化室n内,气体电离成正离子,在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速*s1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下,具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动,其偏转半径可计算。
可见,当b和u为定值时,不同质荷比me-1的离子束的偏转半径r不同。仪器的b和r是固定的,调节加速电压u使氦离子束恰好通过出口缝隙s2,到达收集器d,形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来;而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的r值不同无法通过出口缝隙s2 ,所以被分离出来。 (me-1)2=4,即he 的质荷比,除he 之外,c卅很少,可忽略。
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