广东生产锂电的设备-博为光电|精度高(图)

氦质谱检漏仪的简析及使用方法
一、氦质谱检漏仪的简析：
1、为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散。
2、另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
二、氦质谱检漏仪的使用方法：
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，生产锂电的设备，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。
2、是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴*电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
3、质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场。
4、由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收*而被检测。喷氦法、吸氦法是在电阻炉检漏中常用的两种方法。
氦质谱检漏仪 概述
操作方便：体积小，重量轻，结构紧凑，操作面板简单；
性能高：采用了进口检漏仪仪分了泵与的质谱系统，灵敏度度高，检测压强高，响应时间快；
功能强大：多种模自动切换，丰富的菜项，具有权限管理功能；
可靠性高：采用性的氧化钇铱灯丝提高灯丝寿命，系统具有强大的保护功能；
多种接口：外控io，遥控器接囗以及外部规管接口等用户接囗；
单级磁偏转型氦质谱检漏仪
在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速*组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由*栅、收集*及高阻组成收集器；放大静电计管和冷阴*电离规。
在离化室n内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速*s1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可计算。
可见，当b和u为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径r不同。仪器的b和r是固定的，调节加速电压u使氦离子束恰好通过出口缝隙s2，到达收集器d，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的r值不同无法通过出口缝隙s2 ，所以被分离出来。 (me-1)2=4，即he 的质荷比，除he 之外，c卅很少，可忽略。
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