氦质谱检漏仪真空镀膜配气面板检漏

氦质谱检漏仪 asm 340真空镀膜配气面板检漏
上海伯东某客户生产高纯度特种气体不锈钢减压阀门, 接头, 管件, 这些配件主要用于集成在真空镀膜配气面板, 实现工艺气体的传输. 为了防止气体外泄, 除了阀门, 接头, 管件需要单检漏外, 整个配气面板也需要测试整体漏率, 使用上海伯东德国 pfeiffer氦质谱检漏仪 asm 340, 真空模式下, 漏率设置为 5.5x10-10pa m3/s. 组装后的真空镀膜配气面板广泛应用于 cvd 设备.
真空镀膜配气面板检漏
1. 不锈钢减压阀门, 接头, 管件等单进行检漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10pa m3/s
2. 组装后的真空镀膜配气面板, 整体再次进行检漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10pa m3/s
上海伯东销售维修氦质谱检漏仪 asm 340 与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以出小的漏率 5e-13 pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点.
型号
asm 340 w
对氦气的小检测漏率
5e-13 pa m3/s
检测模式
真空模式和吸式
检测气体
4he, 3he, h2
启动时间 min
3
对氦气的抽气速度 l/s
2.5
进气口大压力 hpa
25
前级泵抽速 m3/h
油泵 15
重量 kg
56
结合了 pfeiffer 与 adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用.氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点.氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 plc.推荐氦质谱检漏仪应用 >>
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