HVA 真空阀门应用于E-Beam镀膜机

某sputtering + e-beam pvd镀膜机系统采用hva真空阀门11000, hva真空阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空,只要对泵内部进行破真空即可.
hva不锈钢真空闸阀11000系列标准技术规格:
阀门材质:
-阀门主体
304不锈钢
-焊接波纹管轴封
am - 350
阀门密封方式
-高真空
氟橡胶
-高真空
铜垫圈/氟橡胶
真空:
-压力范围
高真空1x10-9mbar,高真空1x10-10mbar
-漏率
< 2x10-9mbar l/s
-差压关闭
1 bar (任意位置)
-开启前大压力
≤30 mbar
烘烤温度（不含电磁阀）:
-弹性体密封阀盖
150°c
-金属密封阀盖
-开启温度：200°c
-关闭值：150°c
-驱动方式
手动60 °c,气动60 °c
机制
手动：
手摇曲柄
电磁阀供电电压
120 vac 50 /60 hz
电磁阀可选电压
24, 200, 240 vac 50/60 hz或12, 24 vdc
电磁阀位置指示器,大
115 vac或28 vdc, 20 ma
气动送风：
80 psig
使用寿命:100,000启闭次数(具体视实际使用情况决定)
公称通径:dn 16 - 800 mm
e-beam镀膜机设备组成:系统主要由蒸发室,电子,进样室(可选) ,旋转基片加热台,工作气路,抽气系统,真空测量,电控系统及安装机台等部分组成.
基片在做实验般需要做镀前预处理,镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面,为后获得高质量镀层作准备,要进行脱脂,去锈蚀,去灰尘等工作,也有客户在loadlock腔进行射频反应清洗,通过使用上海伯东kri离子源将基片的表层打掉,得到光滑和均匀的表面.
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上海伯东:罗女士
伯东企业（上海）有限公司专注于pfeiffer,氦质谱检漏仪,intest等