动态高精度配气设备

动态高精度配气设备是一款采用先进的数字技术产品，在传感器的驱动下，气体流量的控制和浓度。不需要对设备进行日常保养，只需要偶尔清洗及再标定就可以了。如果通入设备的气体是超洁净以及无腐蚀性气体，可以使用几年后进行清洗标定；如果通入设备是低洁净度或腐蚀性气体，每次使用完毕后用干燥的氮气进行吹扫，在1年后进行清洗及再标定即可。