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罗茨真空机组中，真空室内的运动部件不得用机油作润滑剂，无油真空机组哪家好，要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作润滑剂，法兰、观察窗的密封部件要涂以高真空油脂。罗茨真空机组一般应在温度为15～30℃，相对湿度不高于70%的清洁空气流通的环境中工作，冷却水进水温度不高于25 ℃。
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真空机组的维护步骤：
1、检查冷却水是否畅通，泵体及泵盖等部位有无泄漏现象。
2、定期检查润滑油质及油位，发现变质和缺油及时更换和加油。
3、经常检查各部位温度是否正常。
4、经常检查各部位的紧固件有无松动、泵体有无异常声音。
5、随时检查仪表数值指示是否正常。
6、停车时，先关闭真空系统的阀门，然后关电源，后关闭冷却水阀门。
7、在冬季，停车后必须将泵体内冷却水放出。
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真空机组运行故障原因及解决方法：
振动大原因：
1、机座与基础接触不良，地脚螺栓松动；
2、对中不好。
处理方法：
1、用混凝土填充底座空隙，拧紧地脚螺栓；
2、重新对中和锁紧。
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