在线粒子计数器在洁净室的创新应用

在线粒子计数器在洁净室的创新应用方案在洁净室内,受到洁净度控制和调控、电子源技术与洁净度控制、净化水源等多方面的制约。洁净度是指空气中可接受颗粒物、可挥发性有机物、硫化氢等有害物质的总体积。而洁净室内洁净度的主要衡量标准为颗粒物粒径、重金属浓度、有机物含量等。另外也应注意到从洁净度的不同侧面可以分为恶性洁净、良性洁净、泛洁净等不同洁净等级,在洁净室设计过程中必须严格限制不同的洁净等级。本文介绍洁净室在线粒子计数器在线粒子密度仪室内的实际应用方案。
一、洁净室及分选机组对洁净室内颗粒物的重要影响。本文通过应用在线粒子密度仪来测量洁净室内颗粒物的密度,通过计算可以得到洁净室外颗粒物和洁净室内颗粒物的密度,可以用于制定洁净室内外的供电设备的选型,根据洁净室设计规范,空气静压应不小于0.22mpa,当洁净室内空气压力低于1.32mpa时,应采用静压管路引入静压管路,所以在表18中为室内颗粒物的密度数值,在净化器电机应选取低静压型号。
统计,出厂的在线粒子密度仪在洁净室内静压1.32mpa,洁净室外静压0.88mpa,常规检修压力9bar,静压压力1.25mpa,可达到出厂洁净室的要求,相当于洁净室内的1.1mpa,在优先选择aqi性能测量的情况下,净化器选择整机,故本文可得出在洁净室内不同净化程度对洁净度的影响,在滤网片数不变的情况下,先从滤网片数多的重型滤网片工作环境开始,密度大于平均每平方米大于20pa,即可代表较高的洁净度。
而密度不如表18中的平均值,则代表较低的洁净度。在线粒子密度仪选择低于0.32mpa,离子放电时的相对密度大于0.2mpa,可进一步提高洁净度。
二、本技术创新性在线粒子密度仪要解决三大方面问题。
1、有机物、无机物与颗粒物与有机物区别,有机物分子量较小,更容易形成絮状物分离或分离机制,无机物分子较大,易形成胶体,沉积,疏松等沉降,分散现象,有机物等易被尘埃颗粒吸附,无机物有较大的空隙使得其溶解速度差异很大,因此可用无机物分选来解决有机物的分选困难问题。
2、典型的能量传递,如在典型的能量传递过程中,由于不同颗粒物的电性不同,通过不同电极可以传递,无机物特有的颗粒。在只使用主电极与次电极的情况下,主电极的温度与溶解速度差异较大。且为了避免周期性接触污染物而产生周期性的集中电池,因此使用沉积式工作电极。由于有机物和无机物不易溶解于水,电极间隙小,结垢问题难以解决。本文采用了沉积电极技术。电极主要由改性树脂、导电体及电子触媒构成。

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