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真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏
实漏和虚漏
并非所有的抽气时间延长、*限压力下降都是因为泄漏，在使用检漏仪检漏前，有必要了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。
真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物，在真空下持续的释放出气体，这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间，并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时，死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来，形成类似于放气或泄漏的现象，通常把这种现象叫做虚漏。
真实的泄漏可以通过检漏找到，放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决，而虚漏一旦产生，很难被发现，需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺，如上图中的螺纹连接（一定要用的话可以使用空心螺栓），很长的狭缝或毛细管，两侧满焊的腔体焊接（较厚的壳体建议真空侧满焊大气侧断续焊）等等。
真空箱氦检漏及回收系统设计关键技术
（1）氦气充注及回收设计：首先、务必保证安全问题，因为涉及到高压气体因此储气罐务必设置安全阀及压力适时检测装置，氦质谱真空检漏，保证压力容器安全。第二、压力管道务必密封良好，防止充气及回收过程中空气混入到系统中，造成氦气纯度下降。第三、需要有氦气浓度检测装置，泉州真空箱氦检漏系统，保证在氦气压力及纯度达不到要求时，补充新鲜的氦气。第四、具备虑油装置，防止氦气增压泵以及真空泵中的油蒸汽进入气罐，污染系统。
（2）抽空系统设计：抽空系统设计应本着适度、够用、满足需求原则。系统冗余过大，会导致制造成本偏高，也不离于节能环保。
真空系统的可允许漏气率
真空系统的可允许漏气率应视其操作压力范围及应用的需要而定，真空氦检漏系统，以下所列为以真空范围的可允许漏气率。
（1）粗略真空系统
真空系统操作压力范围为粗略真空，从大气压力1013mbar至1mbar；可允许漏气率为1毫巴?公升/秒。
（2）中度真空系统
真空系统操作压力范围为中度真空，从1mbar至10-3mbar；可允许漏气率为10-2毫巴?升/秒。
（3）高真空系统
真空系统操作压力范围为高真空，从10-3mbar至10-7mbar；可允许漏气率为10-5毫巴?升/秒。
（4）超高真空系统
真空系统操作压力范围为超高真空，压力低于10-7mbar；可允许漏气率为10-9毫巴?升/秒
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