福州氦质谱检漏仪-博为光电(推荐商家)
年泄漏率大的标准漏孔,要注意经常校准。如果发现异常,要用外置漏孔校准。注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测,都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔,对温度特别敏感。温度每变化1℃,标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如,夏天,室温达到30℃,这种标准漏孔的漏率误差增加30%。高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。有些生产的检漏仪,可采用干式泵,氦质谱检漏仪,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
正压漏孔的校准
正压漏孔校准装置一般采用定容法和恒压法两种工作原理。在此基础上又研究了累积比较法、标准气体法、流量比较法、压力比较法、质谱计法等各种方法,但都以定容法和恒压法为基础。1997年美国材料和测试学会“校准气体参考漏孔的标准规范”。该规范毛细管—水柱位移法为恒压法,气体累积法为定容法。欧洲标准化1995年(centc138wfg/6n3rev3)也采用类似毛细管—水柱位移法。瑞士balzers公司在1995年建立了基于恒压法的正压漏孔的校准系统。我国是采用恒压法测量,测量范围10-7—10-5pam3/s。我们采用质谱比较法校准,准确数据由510所科委计量站提供。
真空漏孔用于正压时,该漏孔的标定值要改变。正压检测漏率范围10-3—10-8pam3/s是过渡流。过渡流的计算较复杂,如用真空漏孔替代正压条件进行换算,工程应用上较为不便,因此必须正压检漏时用正压标准漏孔做比较准。正压漏孔在使用时,其供气压力氦气浓度应一致。正压漏孔的研究国内外起步均比较晚,但它已在大型燃料贮箱、运载火箭氢氧系统成功应用。但是正压漏孔的制作、校准、应用与其气流特性均需在实践中进一步完善发展。
氦质谱检漏仪的工作原理
氦质谱检漏仪是根据质谱分析原理,以氦为示踪气体,对真空设备和密封器件的漏隙进行定位或定量、定性测量的完整系统。
我们知道气体在电子的轰击下会产生带电粒子,带电粒子在电场的作用下获得能量做加速动力,而在磁场的作用下将做圆周运动,而具有不同质荷比的离子其运动半径不同。这就使一束带电粒子在磁场的作用下按荷质比分离,这门研究使不同质量的粒子在电磁场中运动并依质荷比进行分离的学科称为质谱学。根据质谱学原理制成的仪器叫质谱仪。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种,将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。
检漏的基本任务靠采取一些标准检漏技术来完成,而采用哪种技术要根据被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。
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