FOC 纳米位移显微物镜镜架

foc100
foc200
foc300
运动范围（µm）
100
200
300
分辨率（nm）
0,1
0,2
0,3
典型的噪声基准（nm）
0,01
0,02
0,03
全范围重复性（nm）
0,2
0,4
0,6
线性化（典型的）
0,02%
0,02%
0,02%
谐振频率（hz)
500
350
250
刚度(n/µm)
0,6
0,4
0,3
最da负载（kg）-水平使用
0,5
0,5
0,5
最da负载（kg）-垂直使用
0,5
0,5
0,5
传感器
siliconhrsensor
siliconhrsensor
siliconhrsensor
尺寸：wxlxh(mm)
53,6x64,2x34,50
53,6x64,2x34,50
53,6x64,2x34,50
材料
al
al
al
电缆长度（m）
2
2
2
推jian控制器
standard
standard
standard