HVA 真空阀门应用于E-Beam 镀膜机

某品牌sputtering + e-beam pvd镀膜机系统采用hva真空阀门11000, hva真空阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空,只要对泵内部进行破真空即可.
e-beam镀膜机设备组成:系统主要由蒸发室,电子,进样室(可选) ,旋转基片加热台,工作气路,抽气系统,真空测量,电控系统及安装机台等部分组成.
基片在做实验**般需要做镀前预处理,镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面,为后获得高质量镀层作准备,要进行脱脂,去锈蚀,去灰尘等工作,也有客户在loadlock腔进行射频反应清洗,通过使用上海伯东kri离子源将基片的表层打掉,得到光滑和均匀的表面.
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上海伯东:罗先生
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