安徽锂电池氦检漏设备-博为光电|精度高(图)

氦质谱检漏仪故障与处理
检漏仪内部泄漏
(1)内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
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处理方法
不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法(见表1)。①检漏接口与阀门组块的连接部位有漏，可先采用灌胶密封处理，若密封性仍不能满足要求，需从厂家购买新品进行更换。②电磁阀与阀门组块间的密封圈有漏，则对密封圈进行更换，并先用无水乙醇将密封面、密封圈清洗干净，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(这些材料在真空条件下放气，会影响仪器本底)等密封添加剂。③各零部件间的密封一般也采用橡胶圈密封，若有漏，更换密封圈即可。注意事项同上。④真空计的探针与其外壳间采用密封胶密封，该密封环节在检测时*易被忽视，此处若有漏可*行灌胶处理，但探针间距很小，可操作空间有限，若灌胶后密封效果不佳，则从厂家购买新品进行更换。
一、正压漏孔的制作
漏孔是在壁两侧压力差或浓度差作用下，使气体或液体从壁一侧流到另一侧的孔洞、孔隙或一个封闭器壁上的其它结构。气体之间存在压力差或浓度差时形成气体流动，通过漏孔的气体流动通常称为泄漏。在实际应用中泄漏一般产生在两种状态下，从高压(高于大气压)漏向大气和从大气漏向真空。
漏孔可为负压漏孔，也可为正压漏孔，主要决定于使用条件。在入口压力100(1±5%)kpa，出口压力低于1kpa温度为25±5℃条件下，低于25℃的空气，通过漏孔的流量来校准空气漏率。
在入口压力(大于100kpa—20000kpa)出口压力100kpa，温度23±7℃情况下，漏率值不变的漏孔，为正压漏孔，它受压力、温度、气体种类影响。
正压漏孔常用全金属通导型，其特点反应快，无累积，漏率稳定，锂电池氦检漏设备，不易堵塞。目前常规的正压漏孔可伐压扁型与无氧铜压扁型，大缺点是随着压力增加，漏率值随着压力减小，不能恢复其原来值，漏孔芯发生形变。由于材料的性质，用于高压漏孔就变得不能。
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