智庭科技TMC-3207自动测量金相显微镜工具显微镜厂家直发
一.仪器主机说明
tmc-3207是我司针对半导体行业推出的一款高性能的全自动测量金相显微镜,结合公司多年影像测量和扫描的生产经验,以及自主研发的三维测量扫描软件,将设备的高性能、全自动的特点发挥到**。
l支持自动对焦、摇杆操作以及非接触式光谱共焦位移传感器测量(选配)。
l软件具有强大的元素构造、多元测量(自动寻边、对比测量、局部放大采点)等诸多功能。
l伺服马达驱动,电机响应速度快。
l全闭环运动控制,具有**的高速运动定位性能。
l精简化仪器与计算机接口。
l000级花岗石平台,结构稳定,抗振性强。
l多种光源配合:程控表面led面光源、底部光源及蛇管辅助光源。
l配有专用的三维测量软件,具有教导功能,可大幅提高测量效率。
l高品质滚珠驱动螺杆与滑轨,机械性能佳。
l500万像素高清晰数字摄像机和金相镜头,保证**的成像质量。
l5x、10x、20x物镜切换,*大倍率接近1000倍,成像效果**,既可细微观察亦可高精度测量。
二、技术参数
扫描范围
xyz三轴移动范围(mm)
300*200*70
外形尺寸(mm)
900*644*1600
玻璃台面尺寸(mm)
375*275
台面承重(kg)
25
仪器净重(kg)
240
光学影像及测量系统
光学系统
无限远平场消色差金相显微光学模组(3目)
金相显微物镜倍率
5x
10x
20x
视频总放大倍率
241.5x
483x
966x
双目目镜倍率
标配10x目镜(视场数φ22mm),也可选配20x目镜
物方工作距离(mm)
26.1
20.2
8.8
物方视场(mm)
1.47*0.98
0.735*0.49
0.368*0.245
照明光源
上光:led同轴落射冷光源(程控调光)
底光:led平行冷光源(程控调光)
辅光: led光源(程控调光)
摄像机
hikvision 500万像素高清彩色数字相机
示值误差(μm)
单视野
±1
xy行程范围
2.5+l/200
重复精度(μm)
单视野
±0.5
xy行程范围
2.5
xyz光栅分辨力(μm)
1
扫描测量软件
zt vision-c(拥有自主知识产权)
其他选配件
光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、自动变倍金相显微模组、操作摇杆等
xyz三轴驱动方式
伺服电机+丝杆导轨驱动,三轴全闭环运动控制
电脑
联想e95/g3930/4g/1t/集成
工作电源
ac200-240v 50/60hz450w(注:需有电阻≤4ω接地线)
工作环境
温度20±2℃,相对湿30%-80%,振动<0.002g,低于15hz,远离振源
三、 软件介绍
说明:随着软件的不断升级与更新,以下所述功能可能与实际版本略有不同,更多的功能请参照软件本身或咨询我公司专业技术人员。
影像测量软件界面简洁、操作直观、上手容易、功能强大,用户可快速高效的完成测量任务。
1)简洁友好的界面
将主要及常用的功能以按钮形式放在主界面,易于熟悉掌握,用户只要简单的点击和拖拽鼠标即可完成几乎所有的测量动作。
2)强大的几何测量功能
2.1)软件提供完整的几何测量功能
可对点、线、圆弧、圆、矩形、椭圆、键槽(腰型特征)、开曲线、闭曲线、平面、圆柱、圆锥、球等几何元素进行测量。当z轴增加测头或激光位移传感器等设备后还可对3d图形元素如圆柱、圆锥、圆球以及三维空间内的面进行测量。根据元素的实际特征,每种元素可采用多种不同的方法测量。寻边结束即可直接获取元素的坐标值、长度、面积、体积等数据。
2.2)软件具备强大的寻边功能
能够抓取很弱的边缘,可任意设定寻边方向,避免寻边错误,灵活设置寻边参数,去除杂点及毛边的影响。
3)自动对焦功能及对焦点测量功能
由软件自动判定对焦是否*清晰,此功能也可用来测量高度及平面度。
4)方便快捷的应对复杂形状工件及大批量工件测量
4.1)元素的平移阵列测量
对于等距排列的特征元素,只需人为测量一个元素,即可通过平移阵列功能自动完成所有元素的测量。
4.2)寻边位置微调功能
在阵列测量时,由于零件加工存在误差,实际阵列位置和理论位置会产生偏差,此时会出现寻边不准或寻边失败的问题。本软件通过寻边位置微调功能有效的解决了该问题,用户可设定软件自动根据实际阵列位置来调整寻边位置。
4.)工件的阵列及阵列宏测量
当测量大批量工件时,只需人为测量一个工件,即可通过工件阵列及阵列宏功能自动完成所有工件的测量。无论单个夹具或者多个夹具都能同时应对,大大节省了时间和提高测量效率。
4.4)导入cad图形测量功能
可以直接用cad软件绘制尺寸图,导入软件后即可实现自动测量,无需采点寻边,非常方便对形状复杂或不规则图形进行坐标测量和轮廓对比测量。
4.5)对比测量功能
可预设刻度线、角度线、标准圆用以对工件进行对比测量。也可直接在图像轮廓上拉出尺寸线或角度线动态观察工件长度、角度、台阶高、直径等尺寸。
4.6)快捷定位局部特征的地图导航功能
可用软件控制机台将工件整体扫描拼合成为一张图片,甚至可直接导入拍照获得的工件图片,并以该图片像素点为单位来**定位工件。此功能使机台迅速自动定位到任意细微的局部位置,特别适用于大尺寸工件定位和具有大量类似特征的工件**定位。
5)自动编制用户程序,且用户程序编辑简单灵活
5.1)软件根据用户测量步骤顺序自动编制用户程序,并控制程序的运行停止等。
5.2)可以对用户程序及每一个步骤进行编辑、排序、插入、删除等操作,适应各种复杂多变的测量步骤。
5.3)测量大批量工件时,只需进行一次寻边测量,避免重复动作,省时省力。
6)自动计算元素的形位公差
软件提供完整的公差设定和计算功能,可设定和计算形位公差如直线度、圆度、平面度、圆柱度、轮廓度、位置度、平行度、垂直度、同心度、圆跳动等,根据公差自动判别ok或ng,并具备ng示警及提示功能。形象化的公差图表使用户获知具体超差位置,方便查找超差原因。
7)多样化的数据报表及图形数据导出功能
软件支持结果数据以多种报表格式(excel、word、txt、pdf)导出,并支持excel报表格式设置,可**输出位置。
7.1)导出excel报表
7.2)excel导出设置
7.3)导出word及 txt报表
7.4)软件可导出dxf和igs格式图形数据,并可直接将图形用于逆向工程
8)丰富开放的外设连接功能
8.1)支持光谱共焦位移传感器
8.1.1)简介
光谱共焦位移传感器一种精度可达亚微米量级的非接触式位移测量系统,对于表面漫反射或镜反射的物体甚至透明材质皆可测量其位移或厚度,基于出光与回传讯号路径同轴的特性,它亦适用于深孔、盲孔工件等测量。
8.1.2)原理
8.1.3)应用
8.2)支持机械手等外接设备,并且能将这些设备整合在一起
四、服务承诺
(一)保修期内服务
1.新仪器提供1-2天的培训服务,保证受训人员熟练使用我司仪器,仪器自验收合格之日起免费质保12个月。
2.在质保期内因我方原因造成的仪器故障,我司负责免费维修及更换零配件。
(二)保修期外服务
我司承诺对仪器实行终身维修服务,仪器质保期满后,也能提供及时、优质、价格优惠的技术服务和备品供应,更换配件只收成本费。
(三)售后服务响应时间
我司采取定期回访与随时远程咨询相结合的售后服务制度,力求及时发现并解决客户使用中的困难和问题,如有必要我司将在接到请求后由专业工程师2小时响应,8小时派专业工程师赴现场解决问题,7x24小时提供售后服务支持。
注意: 在拆卸仪器包装和搬运仪器时必须有我司专业工程师在场。